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全自动晶圆减薄贴膜机、覆膜机

产品型号:NTW360 / NTW360L

(应用于晶圆减薄、光刻等工艺)
产品详情
• 8" - 12"晶圆适用 • 先进的防静电滚轮贴膜
• 可处理厚度300um以上晶圆 • 多轴精密控制轨迹切割刀设计
• 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料 • 蓝膜、UV膜、光刻膜适用
• 智能测绘料篮内晶圆 • 工控机+Windows系统
• 配置12" 装卸料坞 • SECS/GEM或简易联网能力
• 晶圆非接触对位
安全知识
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